在精密光學(xué)、半導(dǎo)體測試/制造、激光加工、平板顯示器制造等行業(yè)中。通常需要多自由度的精密運動。當需要處理大的表面時，所涉及的定位平臺的平面度規(guī)格(垂直偏差)特別重要，例如，為了減少離焦誤差。

　　什么是平面XY平臺？

　　堆疊式、集成式和平面式平臺設(shè)計之間的差異經(jīng)常被用戶誤解。根據(jù)定義，平面XY載物臺或XY工作臺使用X軸和Y軸移動的公共參考平面。真正的平面運動不適用于交叉滾子軸承——它們用于堆疊集成設(shè)計。

　　堆疊、集成和平面XY載物臺

　　XY運動可以通過疊加兩個行程或類型相近的直線平臺來實現(xiàn)(根據(jù)應(yīng)用要求也可以不同)。這種模塊化設(shè)計提供了靈活性。缺點-對于長行程-行程結(jié)束時平面度誤差和俯仰/滾動誤差增加，這是由于缺乏對上軸底部的支撐造成的。

　　龍門XY平臺(直角坐標機器人平臺)

　　龍門XY平臺是堆疊平臺設(shè)計的另一種形式。當需要覆蓋重載的長XY移動距離，或者從上方掃描或加工固定工件時，通常使用龍門XY運動系統(tǒng)。需要具有特殊臺架控制算法的運動控制器來獲得最佳性能并避免束縛。龍門XY運動系統(tǒng)有很多種，通常建立在花崗巖基座上，以提供超高的穩(wěn)定性和精度，通常用于激光加工、成像和計量應(yīng)用。

　　集成XY平臺(通常誤稱為平面XY平臺)可以制造成具有低輪廓，因為中心板既用作下軸的移動頂板又用作上軸的移動底板。一體式XY平臺通常具有正方形的占地面積，更寬的支座底座減少了上述由懸臂效應(yīng)引起的幾何誤差。就像堆疊的線性平臺一樣，它們確實停留在它們的中間位置范圍內(nèi)。

　　同類型軸承(交叉滾子軸承、循環(huán)滾珠軸承等。)和驅(qū)動機構(gòu)(絲杠、滾珠絲杠、直線電機)可用于堆疊式直線平臺。

　　如果XY工作臺占用區(qū)域之外的移動是不可接受的和/或需要最高的幾何性能，可以使用平面XY工作臺。平面XY平臺通常基于空氣軸承、磁懸浮或(在短行程范圍內(nèi)非常流行的)柔性導(dǎo)軌。XY工作臺提供最高的幾何性能，最適合要求高精度的應(yīng)用，例如半導(dǎo)體晶片檢測中的常見應(yīng)用。

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